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Système de traitement des gaz d'échappement au silane

Spécialisée dans la manutention des produits issus des industries des semi-conducteurs, du photovoltaïque et de l'électronique gaz résiduaire de silane (SiH₄) Les silanes sont inflammables, explosifs et très toxiques ; ils doivent être correctement scellés. Décomposition par combustion + dépoussiérage + lavage par pulvérisation en plusieurs étapes Méthode de traitement totalement inoffensive : les gaz d’échappement sont d’abord… Cylindre de combustion Les substances sont entièrement brûlées et oxydées de l'intérieur, se décomposant en substances inoffensives ; puis... dépoussiéreur Éliminer les particules ; puis procéder Tour de pulvérisation à combustion + tour de pulvérisation Le lavage en deux étapes neutralise et absorbe les substances nocives résiduelles ; enfin, grâce à... Ventilateur d'extraction et cheminée Les émissions respectent les normes de sécurité.

Composition de l'équipement :

  1. dispositif de collecte des gaz d'échappement
  2. Chambre de combustion (unité de décomposition par combustion du silane)
  3. Dépoussiéreur (dépoussiéreur à sec)
  4. Tour de pulvérisation par combustion (lavage et refroidissement à haute température)
  5. Tour de pulvérisation (lavage en profondeur et absorption)
  6. Ventilateur d'extraction
  7. Cheminée (souche d'échappement conforme)
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Description

硅烷气体净化系统是针对半导体、光伏、新能源电池等行业特有的硅烷(SiH₄)废气治理定制化装备,采用低温吸附 + 精密过滤 + 催化分解协同技术,可高效脱除硅烷气体中的杂质及未反应组分,同时实现硅烷资源的回收再利用,资源利用率提升至 80% 以上。系统具备高安全性设计,内置气体浓度实时监测、防爆联锁、紧急切断等多重安全防护机制,适配硅烷易燃易爆、剧毒的特性;净化后气体纯度可达 99.999%,完全满足半导体工艺尾气排放及资源回用标准;设备支持自动化启停、远程数据监控,适配连续化生产工况,可根据企业产能灵活调整处理规模,为高端制造行业提供高效、安全、节能的废气治理一体化解决方案。
The silane gas purification system is a customized equipment for the treatment of silane (SiH₄) waste gas unique to industries such as semiconductors, photovoltaics, and new energy batteries. It adopts a collaborative technology of low-temperature adsorption + precision filtration + catalytic decomposition, which can efficiently remove impurities and unreacted components in silane gas, and realize the recycling of silane resources at the same time, with the resource utilization rate increased by more than 80%. The system has a high-safety design, built-in multiple safety protection mechanisms such as real-time gas concentration monitoring, explosion-proof interlock, and emergency cut-off, which are suitable for the flammable, explosive and highly toxic characteristics of silane; the purity of the purified gas can reach 99.999%, which fully meets the emission and resource reuse standards for semiconductor process tail gas; the equipment supports automatic start and stop and remote data monitoring, is suitable for continuous production conditions, and can flexibly adjust the treatment scale according to the enterprise's production capacity, providing an efficient, safe and energy-saving integrated waste gas treatment solution for the high-end manufacturing industry.
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